分子式：Cl2H2Si
1.将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应,生成二氯二氢硅,经蒸馏分离三氯氢硅,把得到的二氯二氢硅进行精制,制得电子级高纯二氯二氢硅成品。
2.将27.1g SiHCl3与3.7g Bu3N在常压下回流40h,即得到产品。产物用置于干冰浴上的接收器收集。产率可达到7.3%。
3.将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应,生成二氯二氢硅,经蒸馏分离三氯氢硅,将得到的二氯二氢硅进行精制,制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其反应式如下:
1.用于制造半导体,尤其是在外延法工艺中作为硅源。二氯二氢硅主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,二氯二氢硅沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低。采用二氯二氢硅在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间。由于二氯二氢硅的沉积速率与采用其他氯硅烷相比对温度敏感性小,因此可以采用调节氢气流中二氯二氢硅浓度的方法来控制沉积速率,而且不会出现鼓泡所带来的不准确性和机械问题。
2.用于甲硅烷基化剂,及合成硅的有机化合物。
化学品中文名称： | 二氯硅烷 |
化学品英文名称： | dichlorosilane |
中文名称 2 ： | |
英文名称 2 ： | |
技术说明书编码： | 38 |
CAS No. ： | 4109-96-0 |
分子式： | H2Cl2Si |
分子量： | 101.01 |
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危险性类别： | |
侵入途径： | |
健康危害： | 对上下呼吸道、皮肤和眼睛有腐蚀性和刺激性。本品遇水或空气中的水份迅速水解形成氯化氢（盐酸）。盐酸可致皮肤灼伤和粘膜刺激。接触后表现有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等。可引起肺炎或肺水肿。眼接触可致灼伤，导致失明。 |
环境危害： | |
燃爆危险： | 本品易燃，有毒，具腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤。 |
皮肤接触： | 立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少 15 分钟。就医。 |
眼睛接触： | 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分钟。就医。 |
吸入： | 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 |
食入： |
危险特性： | 易燃，其蒸气能与空气形成范围广阔的爆炸性混合物。遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。与卤素及其它氧化剂剧烈反应。遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸烟雾。 |
有害燃烧产物： | 氯化氢、氧化硅。 |
灭火方法： | 切断气源。若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。 |
应急处理： | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离 150m ，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 |
操作注意事项： | 严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴导管式防毒面具，穿胶布防毒衣，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。避免产生烟雾。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、醇类接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。 |
储存注意事项： | 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。包装必须密封，切勿受潮。钢瓶温度不应超过 52 ℃ 。应与氧化剂、碱类、醇类、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
职业接触限值 | |
中国 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
前苏联 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
TLVTN ： | 未制定标准 |
TLVWN ： | 未制定标准 |
监测方法： | |
工程控制： | 严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。提供安全淋浴和洗眼设备。 |
呼吸系统防护： | 正常工作情况下，佩带过滤式防毒面具（全面罩）。高浓度环境中，必须佩戴氧气呼吸器。 |
眼睛防护： | 呼吸系统防护中已作防护。 |
身体防护： | 穿胶布防毒衣。 |
手防护： | 戴橡胶手套。 |
其他防护： | 工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴更衣。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 |
主要成分： | 纯品 |
外观与性状： | 无色气体。 |
pH ： | |
熔点 ( ℃ ) ： | -122 |
沸点 ( ℃ ) ： | 8.3 |
相对密度 ( 水 =1) ： | 1.26 |
相对蒸气密度 ( 空气 =1) ： | 3.59 |
饱和蒸气压 (kPa) ： | 167.16(20℃ ) |
燃烧热 (kJ/mol) ： | 无资料 |
临界温度 ( ℃ ) ： | 无资料 |
临界压力 (MPa) ： | 无资料 |
辛醇 / 水分配系数的对数值： | 无资料 |
闪点 ( ℃ ) ： | 无资料 |
引燃温度 ( ℃ ) ： | 58 |
爆炸上限 %(V/V) ： | 4.1 |
爆炸下限 %(V/V) ： | 99.0 |
溶解性： | 溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。 |
主要用途： | 用于合成硅的有机化合物。 |
其它理化性质： |
稳定性： | |
禁配物： | 强碱、水、醇类、强氧化剂。 |
避免接触的条件： | 受热、潮湿空气。 |
聚合危害： | |
分解产物： |
急性毒性： | LD50 ：无资料 LC50 ：无资料 |
亚急性和慢性毒性： | |
刺激性： | |
致敏性： | |
致突变性： | |
致畸性： | |
致癌性： |
生态毒理毒性： | |
生物降解性： | |
非生物降解性： | |
生物富集或生物积累性： | |
其它有害作用： | 无资料。 |
废弃物性质： | |
废弃处置方法： | 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 |
废弃注意事项： |
危险货物编号： | 23042 |
UN 编号： | 2189 |
包装标志： | |
包装类别： | Z01 |
包装方法： | 无资料。 |
运输注意事项： | 铁路运输时须报铁路局进行试运，试运期为两年。试运结束后，写出试运报告，报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材。装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置，禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。严禁与氧化剂、碱类、醇类、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。中途停留时应远离火种、热源。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。 |
法规信息 | 化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.3 类有毒气体；剧毒物品分级、分类与品名编号 (GA 57-93) 中，该物质的液化或压缩品被划为第二类 A 级有机剧毒品。 |
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