分子式：CF4
1.由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,最后经精馏而得成品。
2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应,反应放热后,氟开始和碳化硅进行反应,通入等体积的干燥氮气以稀释氟气,使反应继续进行,生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅,随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。
3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF
2、SiF
4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O
2、N
2、H2,得到高纯CF4。
1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
2.是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
第一部分：化学品名称 |
化学品中文名称： | 四氟甲烷 |
化学品英文名称： | tetrafluoromethane |
中文名称 2 ： | 四氟化碳 |
英文名称 2 ： | carbon tetrafluoride |
技术说明书编码： | 76 |
CAS No. ： | 75-73-0 |
分子式： | CF4 |
分子量： | 88.01 |
第二部分：成分 / 组成信息 |
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第三部分：危险性概述 |
危险性类别： | |
侵入途径： | |
健康危害： | 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 |
环境危害： | |
燃爆危险： | 本品不燃，具窒息性。 |
第四部分：急救措施 |
皮肤接触： | |
眼睛接触： | |
吸入： | 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 |
食入： |
第五部分：消防措施 |
危险特性： | 不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 |
有害燃烧产物： | 氟化氢。 |
灭火方法： | 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 |
第六部分：泄漏应急处理 |
应急处理： | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 |
第七部分：操作处置与储存 |
操作注意事项： | 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。 |
储存注意事项： | 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
第八部分：接触控制 / 个体防护 |
职业接触限值 | |
中国 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
前苏联 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
TLVTN ： | 未制定标准 |
TLVWN ： | 未制定标准 |
监测方法： | |
工程控制： | 生产过程密闭，全面通风。 |
呼吸系统防护： | 一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。 |
眼睛防护： | 一般不需特殊防护。 |
身体防护： | 穿一般作业工作服。 |
手防护： | 戴一般作业防护手套。 |
其他防护： | 避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 |
第九部分：理化特性 |
主要成分： | 纯品 |
外观与性状： | 无色无臭气体。 |
pH ： | |
熔点 ( ℃ ) ： | -183.6 |
沸点 ( ℃ ) ： | -128.0 |
相对密度 ( 水 =1) ： | 1.61(-130℃) |
相对蒸气密度 ( 空气 =1) ： | 无资料 |
饱和蒸气压 (kPa) ： | 13.33(-150.7℃) |
燃烧热 (kJ/mol) ： | 无意义 |
临界温度 ( ℃ ) ： | -45.5 |
临界压力 (MPa) ： | 3.74 |
辛醇 / 水分配系数的对数值： | 无资料 |
闪点 ( ℃ ) ： | 无意义 |
引燃温度 ( ℃ ) ： | 无意义 |
爆炸上限 %(V/V) ： | 无意义 |
爆炸下限 %(V/V) ： | 无意义 |
溶解性： | 不溶于水。 |
主要用途： | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 |
其它理化性质： |
第十部分：稳定性和反应活性 |
稳定性： | |
禁配物： | 强氧化剂、易燃或可燃物。 |
避免接触的条件： | |
聚合危害： | |
分解产物： |
第十一部分：毒理学资料 |
急性毒性： | LD50 ：无资料 LC50 ：无资料 |
亚急性和慢性毒性： | |
刺激性： | |
致敏性： | |
致突变性： | |
致畸性： | |
致癌性： |
第十二部分：生态学资料 |
生态毒理毒性： | |
生物降解性： | |
非生物降解性： | |
生物富集或生物积累性： | |
其它有害作用： | 该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。 |
第十三部分：废弃处置 |
废弃物性质： | |
废弃处置方法： | 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 |
废弃注意事项： |
第十四部分：运输信息 |
危险货物编号： | 22033 |
UN 编号： | 1982 |
包装标志： | |
包装类别： | O53 |
包装方法： | 钢质气瓶。 |
运输注意事项： | 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。 |
第十五部分：法规信息 |
法规信息 | 化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。 |
第十六部分：其他信息 |
参考文献： | |
填表时间： | |
填表部门： | |
数据审核单位： | |
修改说明： | |
其他信息： | |
MSDS 修改日期： |