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分子式：C2F6
以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF
4、C2F
6、C3F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。
1.用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂
2.用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。
| 第一部分：化学品名称 |
| 化学品中文名称： | 六氟乙烷；全氟乙烷 |
| 化学品英文名称： | Hexafluoroethane |
| 中文俗名或商品名： | |
| Synonyms： | |
| CAS No.： | 76-16-4 |
| 分子式： | C2F6 |
| 分子量： | 138 |
| 第二部分：成分/组成信息 |
| 纯化学品 混合物 | ||||||||
| 化学品名称：六氟乙烷；全氟乙烷 | ||||||||
| ||||||||
| 第三部分：危险性概述 |
| 危险性类别： | 第2．2类 不燃气体 |
| 侵入途径： | 吸入 |
| 健康危害： | 本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。 |
| 环境危害： | 对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。 |
| 燃爆危险： | 本品不燃。 |
| 第四部分：急救措施 |
| 皮肤接触： | |
| 眼睛接触： | |
| 吸入： | 脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。 |
| 食入： |
| 第五部分：消防措施 |
| 危险特性： | 若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 |
| 有害燃烧产物： | 氟化氢。 |
| 灭火方法及灭火剂： | 切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。 |
| 消防员的个体防护： | 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。 |
| 禁止使用的灭火剂： | |
| 闪点(℃)： | 无意义 |
| 自燃温度(℃)： | 无意义 |
| 爆炸下限[%(V/V)]： | 无意义 |
| 爆炸上限[%(V/V)]： | 无意义 |
| 最小点火能(mJ)： | |
| 爆燃点： | |
| 爆速： | |
| 最大燃爆压力(MPa)： | |
| 建规火险分级： |
| 第六部分：泄漏应急处理 |
| 应急处理： | 戴自给式呼吸器，穿工作服。切断气源，抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。 |
| 第七部分：操作处置与储存 |
| 操作注意事项： | 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。 |
| 储存注意事项： | 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
| 第八部分：接触控制/个体防护 |
| 最高容许浓度： | 中 国 MAC：未制订标准前苏联MAC：未制订标准美国TLV—TWA：未制订标准美国 |
| 监测方法： | |
| 工程控制： | 生产过程密闭，全面通风。 |
| 呼吸系统防护： | 空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。 |
| 眼睛防护： | 一般不需特殊防护。 |
| 身体防护： | 穿工作服。 |
| 手防护： | 一般不需特殊防护。 |
| 其他防护： | 避免高浓度吸入。 |
| 第九部分：理化特性 |
| 外观与性状： | 无色、无气味、非易燃的气体，在24．3℃以上时不能保持液态，通常装在耐高压钢瓶内。 |
| pH： | |
| 熔点(℃)： | -101 |
| 沸点(℃)： | -78 |
| 相对密度(水=1)： | 1．61 |
| 相对蒸气密度(空气=1)： | 4．7 |
| 饱和蒸气压(kPa)： | |
| 燃烧热(kJ/mol)： | |
| 临界温度(℃)： | |
| 临界压力(MPa)： | |
| 辛醇/水分配系数的对数值： | |
| 闪点(℃)： | 无意义 |
| 引燃温度(℃)： | 无意义 |
| 爆炸上限%(V/V)： | 无意义 |
| 爆炸下限%(V/V)： | 无意义 |
| 分子式： | C2F6 |
| 分子量： | 138 |
| 蒸发速率： | |
| 粘性： | |
| 溶解性： | |
| 主要用途： | 用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂。 |
| 第十部分：稳定性和反应活性 |
| 稳定性： | 在常温常压下 稳定 |
| 禁配物： | 强氧化剂。 |
| 避免接触的条件： | |
| 聚合危害： | 不能出现 |
| 分解产物： | 氟化氢。 |
| 第十一部分：毒理学资料 |
| 急性毒性： | 属低毒类 |
| 急性中毒： | |
| 慢性中毒： | |
| 亚急性和慢性毒性： | |
| 刺激性： | |
| 致敏性： | |
| 致突变性： | |
| 致畸性： | |
| 致癌性： |
| 第十二部分：生态学资料 |
| 生态毒理毒性： | |
| 生物降解性： | |
| 非生物降解性： | |
| 生物富集或生物积累性： |
| 第十三部分：废弃处置 |
| 废弃物性质： | |
| 废弃处置方法： | 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 |
| 废弃注意事项： |
| 第十四部分：运输信息 |
| |
| 危险货物编号： | 22034 |
| UN编号： | 2193 |
| 包装标志： | |
| 包装类别： | Ⅲ |
| 包装方法： | 钢质气瓶。 |
| 运输注意事项： | 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。 |
| RETCS号： | |
| IMDG规则页码： |
| 第十五部分：法规信息 |
| 国内化学品安全管理法规： | 化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.2 类不燃气体。 |
| 国际化学品安全管理法规： |
| 第十六部分：其他信息 |
| 参考文献： | 1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989 |
| 填表时间： | 年月日 |
| 填表部门： | |
| 数据审核单位： | |
| 修改说明： | |
| 其他信息： | 3 |
| MSDS修改日期： | 年月日 |
